歐界報道:
高精度芯片制造的關鍵設備——光刻機,是半導體行業的重中之重,而光刻膠作爲光刻機制造芯片時的關鍵材料,其地位更是舉足輕重的。光刻膠能否國産化生産,關系到中國近萬億半導體市場的正常運轉。
光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料之一,特別是近年來大規模和超大規模集成電路的發展,更是大大促進了光刻膠的研究開發和應用。光刻膠的技術複雜,品種較多。根據其化學反應機理和顯影原理,可分負性膠和正性膠兩類。光照後形成不可溶物質的是負性膠;反之,對某些溶劑是不可溶的,經光照後變成可溶物質的即爲正性膠。利用這種性能,將光刻膠作塗層,就能在硅片表面刻蝕所需的電路圖形。