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爲何不對ASML光刻機進行逆向開發?四大攔路虎在此,個個是硬骨頭

2021 年 3 月 12 日 俊美阿健

逆向工程碰門檻,光刻機比原子彈還難造?

衆所周知,中國本土芯片廠商在引進最新的7nm等級先進光刻機時,不算一帆風順。在之前的多篇文章中,不少讀者在評論區表示:既然核武、航母、基建重工領域,中國可以通過引進+逆向開發模式打破衆多技術壁壘,爲什麽不能把ASML的光刻機“複刻”出來?

爲何不對ASML光刻機進行逆向開發?四大攔路虎在此,個個是硬骨頭

3、技術和知識産權約束:簡而言之,中國企業想要購買光刻機這一大國重器(也是地表最強印鈔機),需要保證不得侵犯、破壞、影響ASML相關産品、知識産權的合法權益。逆向開發則是絕對被禁止的(你都學會了,我以後賺誰的錢去?)。

爲何不對ASML光刻機進行逆向開發?四大攔路虎在此,個個是硬骨頭

ASML CEO:彼得.溫尼克(Peter Wennink)

這種類似先進武器、裝備自毀裝置的傳感器設置,也是ASML爲確保其光刻機全球獨家壟斷地位的“硬件裝備”。

禁锢三:賣方市場的環境約束

機器買回來,拆開了,萬一逆向開發失敗怎麽辦?

相對于高鐵技術、核能技術以及各類光機電産業而言,中國得以進行技術産品逆向開發的基礎,就是“采購源”的可替代性。日本的高鐵技術不行咱們可以上德國的,美國的核能技術不賣我們可以和法國談。

爲何不對ASML光刻機進行逆向開發?四大攔路虎在此,個個是硬骨頭

這道坎的意義,近乎于“開戰信號”。結合目前我國在自主光刻機領域的研發進程來看,至少在短期(5年左右)內難以輕松逾越。

禁锢四:供應鏈約束

機器買回來、拆開了、逆向開發成功,然後呢?

且不談一台先進級光刻機所需的數以萬計的核心零部件、技術難題、産業鏈國有化程度等問題,我們只談光刻機核心構件之一——物鏡系統。全球僅有德國的卡爾蔡司(Carl Zeiss)一家公司能夠爲它生産、供應光學鏡頭系統。

爲何不對ASML光刻機進行逆向開發?四大攔路虎在此,個個是硬骨頭

因此,作爲民用消費級的攝影鏡頭即被如此銅牆鐵壁般“保護”起來,可想而知作爲光刻機物鏡系統的光學鏡頭,又是何等保密級別的存在。

至于我國能否生産出媲美卡爾蔡司的光學鏡頭,這一點我想攝影圈的朋友們早已知曉答案。我國在先進光學鏡頭及自動對焦方面的技術積累,目前還是暫且不夠的。

物鏡系統只是光刻機三核心之一,其他各類處于相關各國嚴格技術保密、專利禁止轉讓級別的産品、知識産權還有很多,這些都是對光刻機進行逆向開發所要面對的重重難題。

總結

本文寫這麽多,並非是爲漲別人志氣滅自己威風,說到底是希望更多愛國民衆可以了解光刻機領域的現狀,以及我國芯片産業目前所處的環境和角色。光刻機的國産化是曆史必然,但現在仍是我國芯片行業所涉各産業鏈、各環節、各公司潛心學習、循序前行、經驗積累的階段。

爲何不對ASML光刻機進行逆向開發?四大攔路虎在此,個個是硬骨頭

國際競爭瞬息萬變、永不停歇,在適當的時間節點迅速適應環境、調整自身角色和心態才是做有用功。先進光刻機的逆向開發,是否就是適合我國的最佳路線?這也並非是一條必須打破頭走到底的單線思維,相信我們的科研力量、相信國家的政策扶持,只要付諸努力,必然有所收獲。

附注說明:

  • 我國在5nm蝕刻機所獲得的重大進展,不等于具備5nm芯片的生産能力;
  • 具備本土完全自主知識産權和産業鏈供給的國産光刻機,制造工藝爲90nm;
  • 華爲海思、中芯國際均具備芯片研發能力,但前者爲Fabless企業,不具備芯片生産能力,而後者具備28nm、14nm等先進晶圓生産線;
  • 中國本土內最先進的光刻機,是海力士(韓國)無錫廠的7nmEUV級産品,並非我國所屬;
  • ASML在2019年交付26台光刻機,2020年將交付35台,2021年預計爲50台左右;
  • ASML先進級光刻機單台售價約1億美元以上;
  • 荷蘭希望和中國好好做生意;
  • 光刻機比原子彈、核航母還難造。

參考閱讀:

  • 中芯國際痛失EUV光刻機,7nm之路命運多舛
  • 國産頂級光刻機滯留90nm工藝,中芯、長江、華虹手裏全是荷蘭ASML
  • 荷蘭ASML首席執行官證實:中芯國際光刻機仍未獲出口批准

*本文原創首發于今日頭條——淘數碼頭條號,未經授權禁止轉載。

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