據《一網荷蘭》發文稱,光刻機設備供應商ASML于美國當地時間1月22日發布了最新的季度和年度財報業績,並舉行電話會議。而ASML總裁Peter Wennink在本次會上則明確表示,高端的EUV光刻機永遠不可能(被中國)模仿。況且中國在知識産權領域有良好的規定。
據Wennink回應,因爲受到來自美國的壓力,荷蘭扣留了EUV設備出口到中國的許可證,美國稱之爲一種戰略産品。同時擔心將此設備交付給中國可能導致技術失竊。
Wennink認爲,ASML向中國客戶交付産品不存在什麽問題。“我們與中國客戶開展業務已有30年,與現有的客戶已有20年,他們爲全球制造芯片。由于EUV光刻機在荷蘭瓦森納條約的清單中,因此ASML必須獲得荷蘭政府發出的許可證,我們目前正在等待。如果最終等不及,我們會將該EUV光刻機交付給其他客戶,因此對我們公司的影響爲零。市場對EUV光刻機的需求很大,如果我們不將産品交付給這個客戶,則會交給其他客戶,我們將在允許的範圍內交付。”
Wennink高興地解釋了爲什麽他不害怕中國會模仿光刻機。“因爲我們是系統集成商,我們將數百家公司的技術整合在一起,爲客戶服務。這種機器有80000個零件,其中許多零件非常複雜。以蔡司公司爲例,爲我們生産鏡頭,各種反光鏡和其他光學部件,世界上沒有一家公司能模仿他們。此外,我們的機器完全裝有傳感器,一旦檢測到有異常情況發生,Veldhoven總部就會響起警報。”
Wennink沒有看到中國如何能從仿制的設備中受益。“永遠都不可能秘密地進行,必須要涉及很多專家。假設他們成功了,他們將給市場帶來很多無法追蹤來源的芯片,而最終曝光。我們總是關注著市場的動態,我們當然也會熟悉我們的産品出口到每個國家的知識産權法律。中國也有良好的規定,即使只是爲了讓自己保持領先地位,例如在5G移動通信。這些規定也適用于我們的機器。”
Wennink其實說得倒也非常直白,大意就是,像高端的EUV光刻機,你想要模仿是不可的,並且,就算你願意出比別人更多的價錢,也不是你想買就能買到的。就ASML本身而言,向中國客戶供應光刻機設備及提供配套支持服務似乎不存在什麽問題,但中國客戶要從ASML購買到高端的EUV光刻機,即使EUV光刻機不可被模仿,實則困難重重?到此,不便再繼續深究。
國內不少網友紛紛表示,生産光刻機其實不難,基本原理大家容易懂。如果ASML不肯賣我們EUV光刻機,那麽我們就自己攻堅克難,不惜一切代價當總能造出國産EUV光刻機。
另有不少網友則持相反的看法,EUV光刻機國産化想想可以,但真要做起來,其實比登天還難,光刻機有上萬個精密零部件,一些關鍵部件的制造公司在全球也就一兩家,還和ASML交叉持股,産量本就供不應求,假如頂級的光刻機賣給中芯國際,即使中國有著強大的制造業,且模仿能力超強,在10年的時間裏國內配套零部件制造也肯定是追不上人家的,技術經驗(積累)和人才儲備更是遠遠不足。
還有一些網友給出了相對中性的觀點,像EUV光刻機,不僅需要投入太多,而且涉及各交叉學科和各應用工程,涉及的面相當廣泛,且研發周期太長,加上本身我們與世界頂尖水平的差距就已經太大。所以,與其跟在別人後面,四處碰壁,碰的頭破血流,倒不如想想該如何另辟蹊徑。與此同時,我們可以在光刻機設備領域保持一定的投入即可。換句話說,雖然我們可能永遠造不出像EUV這樣先進的光刻機設備,但起碼要有能力生産低端的光刻機,甚至中端的光刻機。
據《牛頓第四定律》寫道,ASML爲能夠在整個設備的不同部位同時獲得世界上最先進的技術,ASML的光刻機中超過90%的零件都是向外采購的,與競爭對手,亦即尼康和佳能是完全不同的。這樣ASML自身也可以騰出手來在部件整合和客戶需求上做文章,從而在日新月異的芯片制造行業取得競爭優勢。ASML在技術研發方面彙聚了世界最前沿最頂尖的科技。ASML的一些重要部件來自世界很多國家,美國、德國向ASML提供超級精密的機械支持以及光學技術的支持,德國向ASML提供一些核心的配件支持,美國爲ASML提供光源的支持以及計量設備的支持。
據ASML、佳能和尼康三家廠商2018年財報顯示,三家共出貨光刻機374台,比上年的294台增加80台,增幅27.21%。EUV、ArFi、ArF機型,全年共出貨134台。其中ASML出貨120台,在高端市場占據的份額高達90%。在10nm節點以下,ASML則穩穩占據100%的市場,同業競爭對手已無力追趕。如果芯片制造商想要生産10nm節點以下的芯片,必須得有ASML供應的EUV光刻機及相應的支持服務。
中國大陸晶圓制造商若要生産10nm以下節點的芯片,該怎麽解決呢?