新加坡科技研究局(A*STAR)屬下的微電子研究院(Institute of Microelectronics,簡稱IME),將與全球半導體公司意法半導體(STMicroelectronics),以及日本制造工具供應商ULVAC合作,共同建立和運營一條專注于壓電式微機電系統(Piezo MEMS)的研發線。
這個“晶圓廠內的實驗室”的研發線爲全球首創,設于意法半導體在宏茂僑園區的現有工廠,讓三名合作方在壓電材料、MEMS技術和晶圓制造工具等各方面,産生互補作用,從而促進創新,加速行業發展。
實驗室料明年次季投入運營
實驗室將包含新的潔淨室,並結合各合作方的科學家、工程師、專用資源與工具、以及系統集成方面的專業知識等,爲該生産線的研發增值。
其中,IME會提供最先進工具,協助確保産品的生産流程能順利在同一地點進行。新的研發線還會利用現有的意法半導體資源,受益于它的晶圓廠所取得的規模經濟。新設的晶圓廠實驗室預計在明年第二季投入運營,並在2022年底開始大規模生産。